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晶圓缺陷參數檢測 : 非接觸測試解決方案

  • 產品型號：
  • 產品時間：2024-07-11
  • 簡要描述：晶圓缺陷參數檢測 : 非接觸測試解決方案，基於我司自主研發的激光自動聚焦、自動化顯微成像、寬場熒光成像、共焦光致發光和拉曼麻豆影片色欲在线观看等核心測試技術，聯合白光幹涉等其它 3D 測量技術，定製化的半導體參數測試解決方案。獲得從粗糙度、圖形尺寸和膜厚等幾何參數，到位錯、層錯等缺陷，再到發光波長、壽命、載流子濃度、組分和應力等物理參數的綜合測試係統。
  • 產品介紹

全晶圓半導體參數非接觸測試解決方案

Full-wafer Noncontac Measuring Solutions forSemiconductor Parameters

基於我公司自主研發的激光自動聚焦、自動化顯微成像、寬場熒光成像、共焦光致發光麻豆影片色欲在线观看和共焦拉曼麻豆影片色欲在线观看等核心測試技術和模組，聯合白光幹涉等其它 3D 測量技術，根據客戶的需求靈活組合相應的技術搭配，為客戶開發定製化的半導體參數測試解決方案，獲得從粗糙度、圖形尺寸和膜厚等幾何參數，到位錯、層錯等缺陷，再到發光波長、壽命、載流子濃度、組分和應力等物理參數的綜合測量，實現無需任何前處理的全晶圓無損自動化檢測。

晶圓缺陷參數檢測 : 非接觸測試解決方案



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